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裝有一個(gè)帶集成電容傳感器的可替換掃描器，可獲得100x100x12μm的掃描范圍。 100x100x10 的掃描范圍 集成的位置傳感器可得到高的掃描線(xiàn)性度 倒置式結(jié)構(gòu)使用方便。
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