原位納米壓痕儀 SEM/AFM/LM

NanoFlip產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下進(jìn)行各種原位力學(xué)測試；也可以直接在大氣環(huán)境下測試。NanoFlip可進(jìn)行硬度和楊氏模量測試、連續(xù)剛度測試（CSM）、力學(xué)性能譜圖（Mapping）、納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析（DMA）、劃痕和磨損測試、柱壓縮等測試，可同時(shí)將SEM圖像與力學(xué)測試數(shù)據(jù)同步。NanoFlip還可以進(jìn)行快速壓痕測量，這是在惰性環(huán)境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

原位納米壓痕儀 SEM/AFM/LM

• KLA NanoFlip產(chǎn)品：先進(jìn)的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，*實(shí)現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，實(shí)現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動(dòng)態(tài)力學(xué)測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。
• 符合ISO14577的國際標(biāo)準(zhǔn)的壓痕測試
• NanoFlip動(dòng)態(tài)測試附件是由連續(xù)剛度專用技術(shù)的發(fā)明人研發(fā)的：動(dòng)態(tài)力學(xué)測試原理為在準(zhǔn)靜態(tài)加載過程中，施加在壓頭上一個(gè)正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載 荷、時(shí)間或者頻率的變化材料力學(xué)性能的變化。
• NanoBlitz3D技術(shù)，提供每個(gè)壓痕在載荷下的楊氏模量、硬度和剛度，大量的測試提高了統(tǒng)計(jì)的準(zhǔn)確性，自動(dòng)生成楊氏模量、硬度和剛度Mapping圖，是研究非均相材料研究的重要方法。

硬度和模量測量(Oliver-Pharr）

Nanoflip納米壓痕測量各種材料的硬度和模量，從超軟凝膠到硬涂層。

連續(xù)剛度測試（CSM）

連續(xù)剛度測量用于量化動(dòng)態(tài)材料特性，如應(yīng)變率和頻率誘導(dǎo)效應(yīng)。NanoFlip納米壓頭提供從0.1Hz到1kHz的動(dòng)態(tài)頻率，根據(jù)深度或頻率連續(xù)測量接觸剛度。

高速材料性能Mapping（3D/4D）

對(duì)于復(fù)合材料，不同區(qū)域的力學(xué)性能差異很大。NanoFlip在X軸和Y軸上提供21mm的樣品臺(tái)移動(dòng)，在Z軸上提供25mm的樣品臺(tái)移動(dòng)，允許在樣品區(qū)域上測試大范圍高度變化的樣品。地形和斷層掃描軟件可以快速生成任何測量機(jī)械性能的彩色譜圖。

納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析

聚合物是非常復(fù)雜的材料。為了獲得聚合物的有用信息，應(yīng)在相關(guān)背景下對(duì)相關(guān)樣品進(jìn)行機(jī)械性能測量。納米壓痕測試使這種測量變得更容易，因?yàn)闃悠房梢院苄。⑶抑苽渌枰牧可?。納米壓痕系統(tǒng)可以通過振蕩壓頭與材料接觸的方式來測量聚合物的復(fù)合模量和粘彈性性能。

定量劃痕磨損測試

Nanoflip可以對(duì)各種材料進(jìn)行劃痕和磨損測試。涂層和薄膜要經(jīng)過許多加工過程，例如化學(xué)和機(jī)械拋光（CMP）和金屬絲粘合，以測試這些薄膜的強(qiáng)度和它們在基底上的粘附力。對(duì)于這些材料來說，在這些過程中抵抗塑性變形并保持完整而不起泡是非常重要的。

相關(guān)文獻(xiàn)